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    靶材

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    濺射及蒸鍍用靶材
    產品名稱純度形狀
    鑭靶2N5-4N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鈰靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鐠靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    釹靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    釤靶3N5方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    銪靶4N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    釓靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鋱靶4N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鏑靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鈥靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鉺靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    銩靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鐿靶4N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    镥靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    釔靶2N5-3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鈧靶4N-5N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鎂靶4N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    銀靶4N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制
    鋰靶3N方靶圓靶旋轉靶異形靶均可定制


    靶材介紹

    靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。通常是在真空中加熱蒸發形成薄膜,可以通過磁控濺射、電子束蒸發、激光濺射等技術來制備薄膜。

    優質靶材的要求
    1、雜質含量低,純度高。靶材的純度影響薄膜的均勻性。

    2、高致密度。高致密度靶材具有導電、導熱性好、強度高等優點,使用這種靶材鍍膜,濺射功率小,成膜速率高,

    薄膜不易開裂,靶材使用壽命長,而且濺鍍薄膜的電阻率低,透光率高。

    3、成分與組織結構均勻。靶材成分均勻是鍍膜質量穩定的重要保證。
    4、晶粒尺寸細小。靶的晶粒尺寸越細小,濺鍍薄膜的厚度分布越均勻,濺射速率越快。
    靶材的分類
    按照化學成分
    不同可分為
    (1)金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)。
    (2)合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合等)。
    (3)陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。
    按照形狀不
    同可分為
    矩形靶、圓形靶、柱形靶、空心旋轉圓管靶以及異形靶。
    按照應用領域不同可分為(1)半導體芯片靶材
    (2)平面顯示器靶材
    (3)太陽能電池靶材
    (4)信息存儲靶材
    (5)電子器件靶材
    (6)其他靶材



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