• 包頭市晶鑫稀土新材料有限公司
    Baotou Jingxin Rare Earth New Materials Co., Ltd
    服務熱線:13347181333
    En
    新聞資訊

    News Center

    新聞資訊

    行業動態當前位置:網站首頁 > 新聞資訊 > 行業動態

    靶材的那些事(一)

    發布時間:2023年07月25日 | 圍觀人數:280

    靶材是什么?

    靶材是制作薄膜的材料,利用高速荷能力子轟擊的目標材料,通過不同的激光(離子光束)和不同的靶材相互作用得到不同的膜系,實現導電和阻擋的功能。

    所以靶材又稱作“濺射靶材”,它的工作原理就是利用離子源產生的離子,在真空中聚集并提速,用形成的高速離子束流來轟擊靶材表面,發生動能交換,讓靶材表面的原子沉積在基底。

    一塊靶材是由“靶坯”和“背板”組成,靶坯是由高純金屬制作而來,是高速離子束流轟擊的目標。背板通過焊接工藝和靶坯連接,起到固定靶坯的作用,并且背板需要具備導電導熱性。

    薄膜沉積

    薄膜沉積是必不可少的環節,分為PVD(物理氣相沉積)和CVD(化學氣相沉積),通俗來說就是分為物理沉積和化學沉積。

    物理沉積是指在真空條件下,運用物理方法將材料源轉化為氣態粒子沉積在基板上。常見的PVD方法有濺射和蒸鍍兩種。濺射主要包含直流物理氣相沉積、射頻物理氣相沉積、離子化物理氣相沉積、磁控濺射;蒸鍍包含真空蒸鍍、電子束蒸鍍。

    化學沉積是指含有薄膜元素的幾種氣相化合物或單質在襯底表面進行化學反應生成薄膜的方法。常見的CVD方法有化學氣相沉積和原子層沉積?;瘜W氣相沉積包括常壓化學氣相沉積、低壓化學氣相沉積、金屬化學氣相沉積、光化學氣相沉積、激光化學氣相沉積;原子層沉積可看作變相的CVD化學沉積。

    靶材產業鏈

    靶材產業鏈可大致分為4個環節,分別是金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜、終端應用。從高純金屬提煉出靶材再采用濺射工藝鍍膜后,被芯片、平板顯示器、太陽能電池、存儲、光學等領域應用。

    靶材產業鏈的4個環節中,技術要求嚴格的是金屬提純和濺射鍍膜。

    金屬提純的意思是將不規則的金屬通過化學的電解、熱分解或物理的蒸發結晶、電遷移、真空熔融等方法得到更純、更規則的主金屬。

    現有金屬提純產能普遍集中于日本、美國等國家,他們高純金屬的資源和產能更集中。國內靶材廠商大多依賴進口,只有個別的高純金屬材料可以自給。

    靶材制作是靶材廠商要做的事,下游對靶材純度的要求相當高。一般來說,太陽能電池和平板顯示器對靶材的要求是4N,集成電路芯片對靶材的要求是6N,純度更高。

    濺射鍍膜是代工廠商的事,也就是臺積電、中芯國際這類公司。

    目前國內靶材廠商分為兩類,一類是內部負責金屬提純,原材料是從金屬粉末、金屬、非金屬、合金、化合物等材料開始,廠商自己提純后再把靶材制作出來;另一類是內部不負責金屬提純,原材料從靶坯開始,廠商只負責焊接、機加、檢測、清洗等工作將靶材制作出來。

    1.png 

    靶材產業鏈的終端應用主要有5大類,分別是顯示面板靶材(LCD)、半導體靶材、太陽能電池靶材(光伏)、磁記錄靶材(機械鍵盤)、節能玻璃靶材。這其中平板顯示(28%)、記錄媒體(30%)、和太陽能電池(27%)占大頭,半導體用靶材(9%)比例較小。


    包頭市晶鑫稀土新材料有限公司 專業從事高純稀土靶材,打火石,稀土合金等稀土材料, 歡迎來電咨詢!
    蒙ICP備2023002316號-1 蒙公網安備 15020702000278號

    個人微信號
    個人微信號
    微信公眾號
    張先生:13347181333
    馬女士:15560821125
    328422143
    精品久久久久久久久国产字幕|国产午夜精品久久久久九九|国产午夜理论不卡电影院888|亚洲成av人片一区二久久精品